1.1.
Acheteur
Nom officiel: Forschungszentrum Jülich GmbH
Forme juridique de l’acheteur: Entreprise publique, contrôlée par une autorité publique centrale
Activité du pouvoir adjudicateur: Enseignement
2.1.
Procédure
Titre: W10-42385139 System zur thermischen und plasmaunterstützten Atomlagenabscheidung für das PGI-7.
Description: System zur thermischen und plasmaunterstützten Atomlagenabscheidung für das PGI-7.
Identifiant de la procédure: 481556d4-e17e-492f-9fc6-cc6e29c08a98
Identifiant interne: W10-42385139
Type de procédure: Négociée sans mise en concurrence préalable
2.1.1.
Objet
Nature du marché: Fournitures
Nomenclature principale (cpv): 38000000 Équipements de laboratoire, d'optique et de précision (excepté les lunettes)
2.1.2.
Lieu d’exécution
Adresse postale: Leo-Brandt-Straße
Ville: Jülich
Code postal: 52428
Subdivision pays (NUTS): Düren (DEA26)
Pays: Allemagne
2.1.3.
Valeur
Valeur estimée hors TVA: 221 000,00 EUR
2.1.4.
Informations générales
Base juridique:
Directive 2014/24/UE
vgv -
5.1.
Lot: LOT-0000
Titre: W10-42385139 System zur thermischen und plasmaunterstützten Atomlagenabscheidung für das PGI-7.
Description: System zur thermischen und plasmaunterstützten Atomlagenabscheidung für das PGI-7.
Identifiant interne: W10-42385139
5.1.1.
Objet
Nature du marché: Fournitures
Nomenclature principale (cpv): 38000000 Équipements de laboratoire, d'optique et de précision (excepté les lunettes)
5.1.2.
Lieu d’exécution
Adresse postale: Leo-Brandt-Strasse
Ville: Jülich
Code postal: 52428
Subdivision pays (NUTS): Düren (DEA26)
Pays: Allemagne
5.1.5.
Valeur
Valeur estimée hors TVA: 221 000,00 EUR
5.1.6.
Informations générales
Projet de passation de marché non financé par des fonds de l’UE
Le marché relève de l’accord sur les marchés publics (AMP): oui
Informations complémentaires: Gemäß § 39, Abs. 6, Nr. 3 VgV zählt der tatspachliche Preis zu den Informationen, die den geschäftlichen Interessen des Unternehmens schaden könnten. Daher wird in dieser Bekanntmachung lediglich der Schwellenwert angegeben.
5.1.7.
Marché public stratégique
Objectif du marché public stratégique: Pas de passation de marché stratégique
5.1.10.
Critères d’attribution
Critère:
Type: Qualité
Description: Beschreibung siehe oben.
Description de la méthode à utiliser si la pondération ne peut être exprimée par des critères: Siehe technische Spezifikation.
Justification de l’absence d’indication de la pondération des critères d’attribution: Wir verweisen diesbezüglich auf § 160 GWB: (1) Die Vergabekammer leitet ein Nachprüfungsverfahren nur auf Antrag ein. (2) Antragsbefugt ist jedes Unternehmen, das ein Interesse an dem öffentlichen Auftrag oder der Konzession hat und eine Verletzung in seinen Rechten nach § 97 Absatz 6 durch Nichtbeachtung von Vergabevorschriften geltend macht. Dabei ist darzulegen, dass dem Unternehmen durch die behauptete Verletzung der Vergabevorschriften ein Schaden entstanden ist oder zu entstehen droht. (3) Der Antrag ist unzulässig, soweit
1. der Antragsteller den geltend gemachten Verstoß gegen Vergabevorschriften vor Einreichen des Nachprüfungsantrags erkannt und gegenüber dem Auftraggeber nicht innerhalb einer Frist von zehn Kalendertagen gerügt hat; der Ablauf der Frist nach § 134 Absatz 2 bleibt unberührt,
2. Verstöße gegen Vergabevorschriften, die aufgrund der Bekanntmachung erkennbar sind, nicht spätestens bis zum Ablauf der in der Bekanntmachung benannten Frist zur Bewerbung oder zur Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden,
3. Verstöße gegen Vergabevorschriften, die erst in den Vergabeunterlagen erkennbar sind, nicht spätestens bis zum Ablauf der Frist zur Bewerbung oder zur Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden,
4. mehr als 15 Kalendertage nach Eingang der Mitteilung des Auftraggebers, einer Rüge nicht abhelfen zu wollen, vergangen sind. Satz 1 gilt nicht bei einem Antrag auf Feststellung der Unwirksamkeit des Vertrags nach § 135 Absatz 1 Nummer
2. § 134 Absatz 1 Satz 2 bleibt unberührt.
5.1.15.
Techniques
Accord-cadre:
Pas d’accord-cadre
Informations sur le système d’acquisition dynamique:
Pas de système d’acquisition dynamique
Enchère électronique: non
5.1.16.
Informations complémentaires, médiation et réexamen
Organisation chargée des procédures de recours: Vergabekammer des Bundes
Informations relatives aux délais de recours: Gemäß VgV.
Organisation qui fournit des informations complémentaires sur la procédure de passation de marché: Forschungszentrum Jülich GmbH
Organisation qui fournit un accès hors ligne aux documents de marché: Forschungszentrum Jülich GmbH
Organisation qui fournit des précisions concernant l’introduction des recours: Forschungszentrum Jülich GmbH
Organisation dont le budget est utilisé pour payer le marché: Forschungszentrum Jülich GmbH
Organisation qui exécute le paiement: Forschungszentrum Jülich GmbH
Organisation qui signe le marché: Forschungszentrum Jülich GmbH
Valeur de tous les contrats attribués dans cet avis: 221 000,00 EUR
Attribution directe:
Justification de l’attribution directe: Le marché ne peut être exécuté que par un opérateur économique particulier en raison d’une absence de concurrence pour des raisons techniques
Autre justification: Die Herstellung memristiver Bauelemente auf der Nanoskala und ihre Integration mit Silizium-Chips in unterschiedlichen Technologieknoten (180 nm und 28 nm Technologie) und Wafergrößen (Durchmesser von 200 mm bis zu Chips von 6mm x 6mm), erfordert ein ALD-System, welches eine hohe Schichtdickenhomogenität (+/- 1,5 % über 150 mm) und eine hohe Prozessreproduzierbarkeit (< +/-
1. 5 %) gewährleistet. Außerdem soll ein modernes System im Vergleich zu vorhandenen Anlagen stabile Depositionsprozesse mit deutlich kürzeren Pulszeiten und reduzierter Plasmaschädigung empfindlicher Substratoberflächen ermöglichen, um den Schritt zu einer weiteren Skalierung der neuartigen Bauelemente zu eröffnen. Für die Realisierung neuer Funktionalitäten wird an Multilagen-Schichtstrukturen geforscht. Die reproduzierbare Abscheidung von Schichtstapeln aus bis zu fünf Metalloxiden und -nitriden ohne Unterbrechung des Vakuums entscheidet wesentlich über die Qualität und Zuverlässigkeit der memristiven Bauelemente, die für eine Integration in Schaltkreise unerlässlich ist. Die Reproduzierbarkeit der Schichtdicke einzelner Lagen muss besser als 0,1 nm sein. Für empfindliche Substrate ist ein geringer Temperatureintrag und eine geringe Oberflächenoxidation wichtig, daher sind geringe Prozesstemperaturen (z.B. durch Plasmaunterstützung), kurze Prozesszeiten und eine Vorspannung am Substrathalter wichtig. Aus Gründen der Technologie-Kompatibilität und der Bereitstellung der erforderlichen Medien muss das neue ALD-System im Reinraum des PGI-7 an der Stelle des alten AIX200FE-Systems installiert werden. Bestandsbedingt steht die Anlage komplett im Reinraum und die Pumpen im Grauraum. Für das neue ALD-System steht in Platz von maximal BxTxH = 2,90 m x 0,95 m x 2,10 m zur Verfügung. Basierend auf langjährigen Forschungsarbeiten haben die am PGI-7 hergestellten memristiven Bauelemente aus ALD-abgeschiedenen Metalloxid-Stapeln Reifegrade erreicht, die ohne langwierige Neuentwicklung in gleicher Qualität transferiert werden müssen. Nachfolgende technische Anforderungen des Institutes PGI-7 werden nur durch das System der Fa. Oxford Instruments GmbH vollumfänglich erfüllt: Technische Anforderungen: Nr. Eigenschaften mit Begründung: 1 Plasma- und thermische ALD-Prozesse im Wechsel ohne Unterbrechung des Vakuums (Abscheidung mehrlagiger Metalloxid/- nitrid Schichtstapel mit exakt definierten Grenzflächen für nanoskalige memristive Bauelemente). 2 Wafergröße bis zu 200 mm (Aktueller Standard in Fabs, wie z.B. XFab und IHP) 3 Kleines Reaktorvolumen; beheizte Außenwand; auswechselbare Liner (Kurze Prozesszeiten durch effiziente Spülschritte und kleines Volumen; keine Kondensation des Materials an der Reaktorwand; Wartungsfreundlichkeit) 4 Substratteller beheizbar bis 400 °C; Anlegen einer angepassten Vorspannung (Temperatur kompatibel zu Silizium-back- end-of-line (max. 400 °C), Verringerung potenzieller Oxidation empfindlicher Oberflächen) 5 Mindestens 5 Präkursorlinien, 5 Gaslinien und eine H2O Linie (Thermische und plasmaunterstützte ALD-Prozesse sollen im Wechsel ohne Unterbrechung des Vakuums erfolgen zur Herstellung unterschiedlicher Schichtfolgen) 6 Maximale Abmessungen (in m) BxTxH = 2,90 x 0,95 x 2,10 (Einzig möglicher Aufstellort ist am Platz des alten AIX200FE-Systems im PGI-7 Reinraum.) 7 Transfer optimierter ALD-Rezepte vom FlexAL® System auf das neue ALD-System (Optimierte Schichtstapel für etablierte memristive Bauelemente müssen mit dem neuen ALD-System reproduzierbar in gleicher Qualität hergestellt werden). 8 Online-Support & technisches Personal vor Ort in 2 Tagen (Kurze Ausfallzeiten sind notwendig für das Erreichen der Projektziele). Aus technischen Gründen kommt daher nur das System der Fa. Oxford Instruments GmbH in Betracht.
6.1.
Résultat – Identifiants des lots: LOT-0000
Statut sélection lauréat: Au moins un lauréat a été choisi.
6.1.2.
Informations sur les lauréats
Lauréat:
Nom officiel: Oxford Instruments GmbH
Offre:
Identifiant de l’offre: Q05529.4A
Identifiant du lot ou groupe de lots: LOT-0000
Valeur de l'offre: 221 000,00 EUR
L’offre a été classée: oui
Place sur la liste des lauréats: 1
L’offre est une variante: non
Sous-traitance: Non
Informations relatives au marché:
Identifiant du marché: W10-42385139
Titre: W10-42385139 System zur thermischen und plasmaunterstützten Atomlagenabscheidung für das PGI-7.
Information sur les fonds de l'Union européenne:
Organisation qui signe le marché: Forschungszentrum Jülich GmbH
6.1.4.
Informations statistiques
Offres ou demandes de participation reçues:
Type de soumissions reçues: Offres
Nombre d’offres ou de demandes de participation reçues: 1
Éventail d’offres:
Valeur de l’offre recevable la plus basse: 221 000,00 EUR
Valeur de l’offre recevable la plus élevée: 221 000,00 EUR
8.1.
ORG-0000
Nom officiel: Forschungszentrum Jülich GmbH
Numéro d’enregistrement: 992-03005FZJ-26
Adresse postale: Wilhelm-Johnen -Str.
Ville: Jülich
Code postal: 52428
Subdivision pays (NUTS): Düren (DEA26)
Pays: Allemagne
Téléphone: +492461612358
Télécopieur: +492461618041
Rôles de cette organisation:
Acheteur
Organisation qui fournit des informations complémentaires sur la procédure de passation de marché
Organisation qui fournit un accès hors ligne aux documents de marché
Organisation qui fournit des précisions concernant l’introduction des recours
Organisation qui signe le marché
Organisation dont le budget est utilisé pour payer le marché
Organisation qui exécute le paiement
8.1.
ORG-0001
Nom officiel: Vergabekammer des Bundes
Numéro d’enregistrement: t:0228/9499-0
Adresse postale: Villemombler Str 176
Ville: Bonn
Code postal: 53123
Subdivision pays (NUTS): Bonn, Kreisfreie Stadt (DEA22)
Pays: Allemagne
Téléphone: +4922894990
Télécopieur: +492289499163
Rôles de cette organisation:
Organisation chargée des procédures de recours
8.1.
ORG-0002
Nom officiel: Oxford Instruments GmbH
Taille de l’opérateur économique: Moyenne
Numéro d’enregistrement: HRB21599
Adresse postale: Borsigstraße 15
Ville: Wiesbaden
Code postal: 65205
Subdivision pays (NUTS): Wiesbaden, Kreisfreie Stadt (DE714)
Pays: Allemagne
Téléphone: +49 (0) 6122 937-0
Télécopieur: +49 (0) 6122 937-190
Rôles de cette organisation:
Soumissionnaire
Lauréat de ces lots: LOT-0000
8.1.
ORG-0003
Nom officiel: Datenservice Öffentlicher Einkauf (in Verantwortung des Beschaffungsamts des BMI)
Numéro d’enregistrement: 0204:994-DOEVD-83
Ville: Bonn
Code postal: 53119
Subdivision pays (NUTS): Bonn, Kreisfreie Stadt (DEA22)
Pays: Allemagne
Téléphone: +49228996100
Rôles de cette organisation:
TED eSender
Identifiant/version de l’avis: f4e30152-0dee-4301-8ca4-3ba98dfb7fa7 - 01
Type de formulaire: Résultats
Type d’avis: Avis d’attribution de marché ou de concession – régime ordinaire
Sous-type d’avis: 29
Date d’envoi de l’avis: 14/11/2025 19:35:24 (UTC+01:00) Heure de l'Europe centrale, heure d'été de l'Europe occidentale
Langues dans lesquelles l’avis en question est officiellement disponible: allemand
Numéro de publication de l’avis: 764034-2025
Numéro de publication au JO S: 222/2025
Date de publication: 18/11/2025
