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Date de publication : 23/11/2022
Date de péremption :
Type de procédure : Négociée sans mise en concurrence
Type de document : Avis d'attribution
ALLEMAGNE
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Allemagne-Hanovre:Équipements de laboratoire, d'optique et de précision (excepté les lunettes)

2022/S 226-649958  (Source TED)
 
 
V  E  R  S  I  O  N      F  R  A  N  C  A  I  S  E
TX:
23/11/2022 S226 Allemagne-Hanovre: Équipements de laboratoire, d'optique et de précision (excepté les lunettes) 2022/S 226-649958 Avis d'attribution de marché Résultats de la procédure de marché Fournitures
 
 
Section I: Pouvoir adjudicateur
I.1) Nom et adresses Nom officiel: Leibniz Universität Hannover Adresse postale: Welfengarten 1 Ville: Hannover Code NUTS: DE929 Region Hannover Code postal: 30167 Pays: Allemagne Point(s) de contact: Einkauf Courriel: vergabe@zuv.uni-hannover.de Téléphone: +49 5117625444 Fax: +49 5117624926 Adresse(s) internet:
Adresse principale: www.uni-hannover.de
I.2) Informations sur la passation conjointe de marchés
Le marché est attribué par une centrale d'achat
I.4) Type de pouvoir adjudicateur Organisme de droit public
I.5) Activité principale Éducation
 
 
Section II: Objet
II.1) Étendue du marché
II.1.1) Intitulé:
Infrastruktur zur Herstellung von Diamanten zur Integration in mikrotechnische elektrisch mechanische Systeme (MEMS) Numéro de référence: Institut für Mikroproduktionstechnik
II.1.2) Code CPV principal 38000000 Équipements de laboratoire, d'optique et de précision (excepté les lunettes)
II.1.3) Type de marché Fournitures
II.1.4) Description succincte:
Lieferung einer Infrastruktur zur Herstellung von Diamanten zur Integration in mikrotechnische elektrisch mechanische Systeme (MEMS)
II.1.6) Information sur les lots Ce marché est divisé en lots: non
II.1.7) Valeur totale du marché (hors TVA) Valeur hors TVA: 774 200.00 EUR
II.2) Description
II.2.3) Lieu d'exécution Code NUTS: DE929 Region Hannover Lieu principal d'exécution:
Institut für Mikroproduktionstechnik An der Universität 2 30823 Garbsen
II.2.4) Description des prestations:
Zur Herstellung und Integration von Diamant in MEMS wird entsprechende Infrastruktur benötigt. Der Bedarf an Diamantherstellung lässt sich in zwei Bereiche gliedern. Der erste Bereich benötigt Diamant als Funktionsmaterial in optischen, mechanischen und elektrischen Systemen mit Systemgrößen bis 200 mm bzw. 8". Der zweite Bereich benötigt vorrangig dünnen, einkristallinen Diamant höchster Reinheit auf verhältnismäßig kleinen Proben. Solche Diamanten verfügen über die höchste bekannte Güte und bilden so die Basis zur Forschung an fehlstellenbasierten quantenoptischen Bauelementen, die geringere Fehlstellendichten als 5 ppb (parts per billion) aufweisen. Dieses inhomogene Anforderungsprofil führt dazu, dass die Prozesse nicht in der gleichen Anlage erfolgen können. Benötigt werden somit zwei unterschiedlich ausgestattete Anlagen zur Herstellung von poly- und monokristallinem Diamant.
II.2.5) Critères d'attribution Critère de qualité - Nom: Techn. Merkmale Bereich 1: Substratgröße: bis 8; Probenwechsel: Schneller Probenwechsel durch z.B. durch "Clamshell" Verschluss Mikrowellenplasma Chemische Gasphasenabscheidung (MWCVD) Technologie verw.: Ja; Plasmaleistung: mind. 6kW Gaskanäle: H2 in 9N, CH4 in 7N Möglichkeit zur Dotierung von Diamant während der Herstellung: Ja; Probenvorbehandlg.: Trockenätzen in H2 Plasma; Homogenität der Diamantabscheidung: auf 2" weniger als 1% Schichtdickenvariation, auf 4" weniger als 10% Schichtdickenvariation; Material des MWCVD-Reaktors: Edelstahl ohne Komponenten aus SiO2 im Bereich des Plasmas; Passive Heizung der Probe im Ber.: 400-1.000°C; Geregelte Temperatur: Rückkopplungsschleife zur Prozesssteuerung für Temperaturstabilität besser als 1 °C über Wochen; Vakuumanforderung: kleiner 1 x 10-4 mbar; Anforderung an Schichtqualität: Optical & Mechanical Grade für Mikro- und Nano und Ultrananokristalline Diamantschichten und einkristalline Diamantschichten; Bereitst. v. Prozessdaten: ja / Pondération: 40 Critère de qualité - Nom: Techn. Merkmale Bereich 2: Substratgr.: bis 2"; Mikrowellenplasma Chemische Gasphasenabscheidung (MWCVD) Technologie verwendet: Ja; Plasmaleistg.: zw. 1- 6kW; Gaskanäle: H2 in 9N, CH4 in 7N; Probenvorbehandlg.: Trockenätzen in H2 Plasma; Material des MWCVD-Reaktors: Edelstahl o. Komponenten aus SiO2 z.B. Quarzrohr im Ber. des Plasmas; Gestaltung des Rezipienten: 7 CF40-Ansichtsanschlüsse, 3 horizontal auf Plasmaebene und 4 im Brewster-Winkel (für Diamant), die eine direkte Sicht auf die Probe durch das Plasma für die Plasma- u. Probendiagnose ermögl.; Akt. Heizung der Probe bis:
   1. 100 °C; Temperaturüberwachung: - Zweifarben-IR-Pyrometer z. Substrattemperaturüberwachung durch optische Faser mit Digitalanz., Temperaturber. 475 bis 1475°; Vakuumanforderung: kleiner 1 x 10-8 mbar; Anforderg. an Schichtqu.: Monokristallin, mindestens electronic Grade, < 1 ppb Störstellendichte für Bor, Stickstoff und Silizium; Möglichk. zur Beladg. v. Proben d. Schleuse o. Vakuumbruch im Rezipienten: Ja / Pondération: 40 Prix - Pondération: 20
II.2.11) Information sur les options Options: non
II.2.13) Information sur les fonds de l'Union européenne
Le contrat s'inscrit dans un projet/programme financé par des fonds de l'Union européenne: oui Identification du projet:
ZW7-85196513
II.2.14) Informations complémentaires
 
 
Section IV: Procédure
IV.1) Description
IV.1.1) Type de procédure Attribution d'un marché sans publication préalable d'un avis d'appel à la concurrence au Journal officiel de l'Union européenne (dans les cas énumérés ci-dessous) Explication:
Nach intensiver Marktrecherche und Sondierungen mit verschiedenen Anbietern konnte nur die Systeme SDS6k und SDS 6705 von CORNES Technologies Ltd. Japan alle für die geplanten Anwendungen erforderlichen Merkmale und Spezifikationen in ihrer Gesamtheit erfüllen (siehe Merkmale). Es ist kein weiteres Unternehmen auf dem Weltmarkt bekannt, welches dieses ermöglicht.
IV.1.3) Information sur l'accord-cadre ou le système d'acquisition dynamique
IV.1.8) Information concernant l'accord sur les marchés publics (AMP)
Le marché est couvert par l'accord sur les marchés publics: non
IV.2) Renseignements d'ordre administratif
IV.2.8) Informations sur l'abandon du système d'acquisition dynamique
IV.2.9) Informations sur l'abandon de la procédure d'appel à la concurrence sous la forme d'un avis de préinformation
Le pouvoir adjudicateur n'attribuera aucun autre marché sur la base de l'avis de préinformation ci-dessus
 
 
Section V: Attribution du marché
Marché nº: Institut für Mikroproduktionstechnik Intitulé:
Infrastruktur zur Herstellung von Diamanten zur Integration in mikrotechnische elektrisch mechanische Systeme (MEMS)
Un marché/lot est attribué: oui
V.2) Attribution du marché
V.2.1) Date de conclusion du marché:
25/03/2022
V.2.2) Informations sur les offres Nombre d'offres reçues: 1 Nombre d'offres reçues de la part de PME: 0 Nombre d'offres reçues de la part de soumissionnaires d'autres États membres de l'UE: 0 Nombre d'offres reçues de la part de soumissionnaires d'États non membres de l'UE: 1 Nombre d'offres reçues par voie électronique: 1
Le marché a été attribué à un groupement d'opérateurs économiques: non
V.2.3) Nom et adresse du titulaire Nom officiel: CORNES Technologies Ltd.
Ville: Tokyo Code NUTS: JP Japan Pays: Japon
Le titulaire est une PME: non
V.2.4) Informations sur le montant du marché/du lot (hors TVA) Valeur totale du marché/du lot: 774 200.00 EUR
V.2.5) Information sur la sous-traitance
 
 
Section VI: Renseignements complémentaires
VI.3) Informations complémentaires:
Bekanntmachungs-ID: CXP4YHE644A
VI.4) Procédures de recours
VI.4.1) Instance chargée des procédures de recours Nom officiel: Vergabekammer beim Niedersächsischen Ministerium für Wirtschaft, Arbeit und Verkehr Digitalisierung Adresse postale: Auf der Hude 2 Ville: Lüneburg Code postal: 21339 Pays: Allemagne
VI.5) Date d'envoi du présent avis:
18/11/2022 Infrastruktur zur Herstellung von Diamanten zur Integration in mikrotechnische elektrisch mechanische Systeme (MEMS) 23/11/2022 DEU National
 
 
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38000000 - Équipements de laboratoire, d'optique et de précision (excepté les lunettes)