1.1.
Acheteur
Nom officiel: Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12
Forme juridique de l’acheteur: Entreprise publique
Activité du pouvoir adjudicateur: Services d’administration générale
2.1.
Procédure
Titre: ALD System (Dielectric) (IPMS-CNT06.1) - PR1017835-2480-P
Description: ALD System (Dielectric) (IPMS-CNT06.1)
Identifiant de la procédure: ae9b4ef6-a0bf-4d93-a236-868ba0ae5bf4
Identifiant interne: PR1017835-2480-P
Type de procédure: Négociée avec publication préalable d’un appel à la concurrence / concurrentielle avec négociation
La procédure est accélérée: non
2.1.1.
Objet
Nature principale du marché: Fournitures
Nomenclature principale (cpv): 42990000 Machines diverses à usage spécifique
2.1.2.
Lieu d’exécution
Ville: Dresden
Code postal: 01109
Subdivision pays (NUTS): Dresden, Kreisfreie Stadt (DED21)
Pays: Allemagne
2.1.4.
Informations générales
Base juridique:
Directive 2014/24/UE
vgv -
5.1.
Lot: LOT-0000
Titre: ALD System (Dielectric) (IPMS-CNT06.1) - PR1017835-2480-P
Description: 1 Stück ALD System (Dielectric) (IPMS-CNT06.1) Eine Anlage zum Aufbringen von Metallnitriden und dielektrischen Schichten mittels thermischer ALD-Verarbeitung auf Wafern mit einem Durchmesser von 300 mm. Details siehe Vergabeunterlagen. Optionale Leistungspositionen:
2. 2.1.1.8 Grundkonfiguration ein Swap-Kit für Metallnitridkammer enthalten Ja/Nein
2. 2.1.1.10 Grundausstattung Waferrotation in der Prozesskammer für bessere Gleichmäßigkeitswerte verfügbar Ja/Nein
2. 2.1.1.11 Grundausstattung Interne Lagerung von Dummy-Wafern/Testwafern "Ja/Nein (wenn dies Teil des Angebots ist, dann lautet der Mindestanforderungsparameter: min. 25 Wafer, aber eine höhere Anzahl von Wafern ist wünschenswert)"
2. 2.1.1.12 Grundkonfiguration Wenn keine Lagerung verfügbar ist, bitte garantieren, dass verschiedene Wafertypen (Dummy, Test, Produkt) in einem Durchlauf aus verschiedenen FOUPs/Loadports (Parallelmodus) verarbeitet werden können Ja/Nein
2. 2.1.1.13 Grundkonfiguration Das System ist mit einem Notch-Aligner ausgestattet. Dieser verfügt über einen programmierbaren Kerbenwinkel mit einer Genauigkeit von =0,5º für die Kerbe und =0,1 mm für die Zentrierung. Ja/Nein
2. 2.1.1.14 Grundkonfiguration Kühlstation oder vergleichbare Option zur Waferkühlung (z. B. in Loadlock), damit der FOUP keine erhitzten Wafer sieht. Ja/Nein
2. 2.1.1.16 Grundausstattung Vorheizstation/Vorheizkammer verfügbar Ja/Nein
2. 2.1.1.20 Grundausstattung Eine zusätzliche Verbindung/ein zusätzliches Fenster in der Kammer für In-situ-Messtechnik (z. B. Massenspektroskopie), weitere Details können während der Verhandlungen geklärt werden Ja/Nein
2. 2.1.1.21 Grundkonfiguration Zwei zusätzliche Installationsanschlüsse in der Kammer für die Möglichkeit der In-situ-Ellipsometrie, weitere Details können während der Verhandlungen geklärt werden Ja/Nein
2. 2.1.1.22 Grundkonfiguration Möglichkeit, dass die Waferrückseite einschließlich der Abschrägung während der Bearbeitung nicht beschichtet wird Ja/Nein
2. 2.1.2.5 Kassetten- und Wafer-Spezifikation - Wafermaterial Handhabung von Quarzwafern Ja/Nein
2. 2.2.6 Kammer A (Oxidkammer) BKM erforderlich für thermisches ALD von SiO2 und Ta2O5 mit metallorganischen Vorläufern, einschließlich Vorschlägen für Vorläufer, die im Lieferumfang enthalten sind Ja/Nein
2. 2.2.13 Kammer A (Oxidkammer) Oxidationsmittel für ALD mit einer zusätzlichen Gasleitung für H2O; ja/nein
2. 2.2.14 Kammer A (Oxidkammer) Möglichkeit, Prozesse mit O2 und O3 in einem Prozess zu kombinieren/zu verwenden (z. B. dotiertes HfO2 --> Dotierstoff läuft mit O2, HfO2 läuft mit O3) Ja/Nein
2. 2.2.17 Kammer A (Oxidkammer) Option zur parallelen Bearbeitung von Wafern "Ja/Nein (falls verfügbar, bitte angeben; falls Teil des Angebots, dann Mindestanforderung: min. 2 Wafer)"
2. 2.3.7 Kammer B (Metallnitridkammer) BKM für thermisches ALD von ZrN und WN mit metallorganischen oder Halogenvorläufern, einschließlich Vorschlägen für Vorläufer, die im Lieferumfang enthalten sind Ja/Nein; (falls im Angebot enthalten: eine höhere Anzahl von Prozessen ist wünschenswert)
2. 2.3.14 Kammer B (Metallnitridkammer) Option für weitere Prozessgase (z. B. H2, SiH4) "Ja/Nein (falls im Angebot enthalten: weitere Gasanschlüsse gewünscht)"
2. 2.3.15 Kammer B (Metallnitridkammer) Option für zusätzliche Nitriergase (Tertbutylhydrazin) "Ja/Nein (falls im Angebot enthalten: weitere Gasanschlüsse gewünscht)"
2. 2.3.18 Kammer B (Metallnitridkammer) Option für In-situ-Reinigung "falls verfügbar, bitte angeben; Ja/Nein"
2. 2.3.19 Kammer B (Metallnitridkammer) Option für parallele Bearbeitung von Wafern "falls verfügbar, bitte angeben, min. 2 Wafer; ja/nein"
2. 2.5.1 Subtools Pumpen sind im Angebot enthalten Ja/Nein, Edwards-Typ
2. 2.5.2 Subtools Kühler sind im Angebot enthalten Ja/Nein
2. 2.5.3 Subtools Ozonisator ist im Angebot enthalten Ja/Nein
2. 2.5.4 Subtools Reiniger ist im Angebot enthalten Ja/Nein
2. 2.12.2 Schnittstellengeräte Touchscreen bevorzugt Ja/Nein
3. 1.3 Prozessübersicht Kammer B: BKM für thermisches ALD von ZrN, HfN oder anderen Nitriden einschließlich Vorschlägen für Vorläufer Ja/Nein
4. 1 Quelleninspektion Bitte bieten Sie eine Quelleninspektion an, falls verfügbar Ja/Nein
4. 2.5 Installation Optionale Prozessgase inkl. Gasleitungen für Kammer B "H2, H2O, NF3; ja/nein"
4. 6.10 Prozessabnahmetests Prozesstest: Kammer B - 10 nm MoN "Ja/Nein; (Wenn dies Teil des Angebots ist, gilt folgende Mindestanforderung: Das System muss die Anforderungen der Prozessspezifikationen und Prozessstabilität für mindestens 25 x 300 mm planare Bare-Si-Wafer erfüllen --> Partikel, Dickenuniformität, Wölbungsmessung, Schichtwiderstand 3 x 200 mm Bare-Si-Wafer in Pocketwafers --> Dickenhomogenität, Schichtwiderstand Eine volle Kammerladung strukturierter 3D-Wafer (siehe Kapitel
3. 3 )--> Analyse der Dickenkonformität)
4. 12.1 Erweiterte Gewährleistung Das Angebot umfasst eine erweiterte Gewährleistung von weiteren 12 Monaten. Ja/Nein
5. 1.2 Anforderungspunkte, die angeboten werden müssen Verbrauchsmaterialien (Lampen, Ventile usw., Kammer-Kits) Ja/Nein
5. 1.3 Anforderungspunkte, die angeboten werden müssen Offline-Rezepturverwaltungssystem Ja/Nein
Identifiant interne: LOT-0000
5.1.1.
Objet
Nature principale du marché: Fournitures
Nomenclature principale (cpv): 42990000 Machines diverses à usage spécifique
5.1.2.
Lieu d’exécution
Ville: Dresden
Code postal: 01109
Subdivision pays (NUTS): Dresden, Kreisfreie Stadt (DED21)
Pays: Allemagne
5.1.6.
Informations générales
Projet de passation de marché financé en totalité ou en partie par des fonds de l’UE
Le marché relève de l’accord sur les marchés publics (AMP): oui
5.1.7.
Marché public stratégique
Objectif du marché public stratégique: Pas de passation de marché stratégique
5.1.10.
Critères d’attribution
Critère:
Type: Qualité
Nom: Technische Ausführung
Description: Technische Ausführung
Catégorie du critère d’attribution poids: Pondération (pourcentage, valeur exacte)
Nombre critère d’attribution: 60,00
Critère:
Type: Prix
Nom: Preis
Description: Preis
Catégorie du critère d’attribution poids: Pondération (pourcentage, valeur exacte)
Nombre critère d’attribution: 40,00
5.1.15.
Techniques
Accord-cadre:
Pas d’accord-cadre
Informations sur le système d’acquisition dynamique:
Pas de système d’acquisition dynamique
Enchère électronique: non
5.1.16.
Informations complémentaires, médiation et recours
Organisation chargée des procédures de recours: Vergabekammern des Bundes
Organisation qui fournit des informations complémentaires sur la procédure de passation de marché: Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12
Organisation qui fournit des précisions concernant l’introduction des recours: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V.
6.1.
Résultat – Identifiants des lots: LOT-0000
Statut sélection adjudicataire/attributaire: Aucun lauréat n’a été choisi et la mise en concurrence est clos.
La raison pour laquelle un adjudicataire/attributaire n'a pas été choisi: Autre
6.1.4.
Informations statistiques
Offres ou demandes de participation/candidatures reçues:
Type de soumissions reçues: Offres
Nombre d'offres ou de demandes de participation/candidatures reçues: 1
Type de soumissions reçues: Offres présentées par voie électronique
Nombre d'offres ou de demandes de participation/candidatures reçues: 1
Type de soumissions reçues: Offres reçues de soumissionnaires de micro, petite ou moyenne taille
Nombre d'offres ou de demandes de participation/candidatures reçues: 1
Type de soumissions reçues: Offres reçues de soumissionnaires enregistrés dans des pays de l’Espace économique européen autres que le pays de l’acheteur
Nombre d'offres ou de demandes de participation/candidatures reçues: 0
Type de soumissions reçues: Offres reçues de soumissionnaires enregistrés dans des pays situés en dehors de l’Espace économique européen
Nombre d'offres ou de demandes de participation/candidatures reçues: 0
8.1.
ORG-7001
Nom officiel: Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12
Numéro d’enregistrement: DE 129515865
Adresse postale: Hansastraße 27c
Ville: München
Code postal: 80686
Subdivision pays (NUTS): München, Kreisfreie Stadt (DE212)
Pays: Allemagne
Point de contact: Einkauf Betrieb und Infrastruktur
Téléphone: +49891205-0
Rôles de cette organisation:
Acheteur
Centrale d’achat qui passe des marchés publics ou conclut des accords-cadres de travaux, de fournitures ou de services destinés à d’autres acheteurs
Organisation qui fournit des informations complémentaires sur la procédure de passation de marché
8.1.
ORG-7004
Nom officiel: Vergabekammern des Bundes
Numéro d’enregistrement: t:022894990
Adresse postale: Kaiser-Friedrich-Straße 16
Ville: Bonn
Code postal: 53113
Subdivision pays (NUTS): Bonn, Kreisfreie Stadt (DEA22)
Pays: Allemagne
Téléphone: +49 228 9499-0
Rôles de cette organisation:
Organisation chargée des procédures de recours
8.1.
ORG-7005
Nom officiel: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V.
Numéro d’enregistrement: DE-129515865
Adresse postale: Hansastraße 27c
Ville: München
Code postal: 80686
Subdivision pays (NUTS): München, Kreisfreie Stadt (DE212)
Pays: Allemagne
Téléphone: +49 89 1205-0
Rôles de cette organisation:
Organisation qui fournit des précisions concernant l’introduction des recours
8.1.
ORG-7006
Nom officiel: Datenservice Öffentlicher Einkauf (in Verantwortung des Beschaffungsamts des BMI)
Numéro d’enregistrement: 0204:994-DOEVD-83
Ville: Bonn
Code postal: 53119
Subdivision pays (NUTS): Bonn, Kreisfreie Stadt (DEA22)
Pays: Allemagne
Téléphone: +49228996100
Rôles de cette organisation:
TED eSender
Identifiant/version de l’avis: d4be2ace-42c9-4533-a9d0-1a44967875c6 - 01
Type de formulaire: Résultats
Type d’avis: Avis d’attribution de marché ou de concession – régime ordinaire
Sous-type d’avis: 29
Date d’envoi de l’avis: 30/01/2026 12:37:51 (UTC+01:00) Heure de l'Europe centrale, heure d'été de l'Europe occidentale
Langues dans lesquelles l’avis en question est officiellement disponible: allemand, anglais
Numéro de publication de l’avis: 75037-2026
Numéro de publication au JO S: 22/2026
Date de publication: 02/02/2026
